激光數控沖床的維修是一項集計算機、自動控制、自動檢測和電機拖動等于一體的技術，需要激光數控沖床維修人員掌握大量的專業知識和豐富的激光數控沖床的維修經驗。因此，在日常數控機床維修中，如何盡快的找到故障原因并排除故障，提高設備完好率，是激光數控沖床維修人員的首要任務。當出現沖床精度異常、零件表面質量變差等問題時，就需要借助一些先進的精度檢測儀器。激光干涉儀作為激光數控沖床精度常用的檢測工具，能對數控機床進行線性測量、直線度測量、平面度測量、角度測量、回轉軸分度精度等進行測量。其中線性測量功能通過機床運行一段直線插補程序，能檢測線性坐標軸的定位精度、重復定位精度，反向間隙等。其線性測長精度可達到 ±0.5ppm(0~40℃ )，線性測量最長可以達到 80m，最高線性測長分辨率 0.001μm，最高測量速度 240m/min。對于不同的激光數控沖床，檢測的曲線各不相同，其完善的軟件功能通過對不同的曲線進行分析，能夠將影響機床精度的原因列出來，數控機床維修人員能夠很直觀通過分析圖形和數據，了解到機床在哪些方面存在誤差，這樣就為調整和數控機床維修提供了充分的數據支持和指導，大大縮短數控機床維修時間，提高數控機床維修的效率。

激光干涉儀組件要測量線性軸的定位精度、重復定位精度和反向間隙等數據，需要使用激光測量系統的以下組件，主要有：XL 激光頭、三腳架和云臺、XC 環境補償單元、空氣溫度傳感器和材料溫度傳感器、線性測量光學鏡組、光學鏡安裝組件及安裝激光測量軟件的計算機。